Pfeiffer分子ポンプ群を低温真空プローブ台に応用
真空プローブ台は一般的に複雑、高速精密デバイスの表面観測及び各種性能試験を行う機器に用いられ、試験を通じて製品の品質と信頼性を保障し、研究開発時間とデバイス製造技術のコストを削減することができる。プローブ台は主に半導体業界、光電業界、集積回路及びパッケージのテストに応用されている

なぜ真空環境が必要なのか。
1.真空プローブテーブルは分子ポンプ群を組み合わせることにより、真空吸着チャック及び真空吸着プローブホルダーの使用に合わせて、空気圧縮により、サンプル及びプローブホルダーを固定する.
2.超低温でウエハを検出することにより、水ガスが発生し、ウエハが凍結する.水蒸気は測定に影響を与え、測定に失敗する.真空チャンバ内の水蒸気は真空ポンプにより排出する必要がある.
3.ウエハを300℃、400℃、500℃以上加熱すると、強い酸化が発生する.温度が高いほどシリコンウエハ表面の酸化が増大する、酸化によりウエハは電気的、物理的、機械的に低下する.真空チャンバ内の酸素は分子ポンプ群を介して排出する必要がある.

上海伯東タービン分子ポンプグループが低温真空プローブ台の顧客事例に応用：ある企業は上海伯東の推薦を通じてドイツPfeiffer経済型分子ポンプグループHiCube 80 Ecoを購入し、分子ポンプとダイヤフラムポンプは完璧に結合し、機械全体の設計、プラグアンドプレイ、清潔、低振動、安定した高真空環境を提供した。

上海伯東Pfeiffer普発分子ポンプユニットHiCube Eco技術仕様

Pfeifferターボ分子ポンプユニット全体的なモジュール化設計、内部統合前段ポンプとぶんしポンプ、「プラグアンドプレイ」、抽気範囲35から685 L/S、限界真空5 X 10-10 hPa、提供経済型分子ポンプユニットECO,標準型分子ポンプ群Classicと高性能ターボ分子ポンプ群Proさまざまな用途に対応し、コーディネートを推奨Pfeiffer真空計共同使用

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